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VMS-3020          長(zhǎng)度單位：MM

規(guī)格參數(shù)

VMS-3020

X/Y軸行程

300*200

工

作

臺(tái)

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程180mm 工作距離95mm

玻璃臺(tái)面尺寸

330*230

傳動(dòng)型式

XYZ三軸精密V型交叉導(dǎo)軌/X/Y軸光桿傳動(dòng)、Z軸光軸傳

技術(shù)規(guī)格

精   度

測(cè)量精度：≤3UM+L/200 重復(fù)精度：≤3UM+L/200

數(shù)字測(cè)量系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005mm

多功能數(shù)據(jù)處理器可測(cè)點(diǎn)、線、圓弧、圓、角度等

測(cè)量精度

測(cè)量精度：≤3±L/200 UM  重復(fù)精度：≤3±L/200 UM

影像瞄準(zhǔn)系統(tǒng)

攝像機(jī)：索尼彩色1/3″CCD 800TVL攝像機(jī)放大倍率30-230X

鏡頭：POMEAS高清連續(xù)變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X

照明系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長(zhǎng)、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸（L*W*H）

750*500*1100

儀器重量（KG）

180